Novità COMSOL Multiphysics^® versione 6.1

Aggiornamenti Plasma Module

Per gli utenti del Plasma Module, la versione 6.1 di COMSOL Multiphysics^® offre la possibilità di modellare reattori di plasma accoppiati con una polarizzazione RF periodica, un nuovo add-in Plasma Chemistry, che crea una chimica del plasma completa da un file di testo per i modelli, e quattro nuovi modelli tutorial. Per saperne di più su questi aggiornamenti, leggete qui di seguito.

Plasma ad accoppiamento induttivo con interfaccia multifisica a radiofrequenza

La nuova interfaccia multifisica Inductively Coupled Plasma with RF Bias combina le interfacce Plasma, Time Periodic e Magnetic Fields per modellare reattori di plasma ad accoppiamento induttivo (ICP) con un'eccitazione periodica capacitiva a radiofrequenza. Il campo magnetico viene risolto nel dominio della frequenza e le equazioni di trasporto del plasma vengono risolte per uno stato stazionario periodico. Questa interfaccia è dedicata alla modellazione di reattori di plasma con meccanismi di accoppiamento di potenza induttivi e capacitivi e può essere visualizzata nel nuovo modello Model of an Argon and Chlorine Inductively Coupled Plasma Reactor with RF Bias.

Risultati della simulazione di un reattore al plasma ad accoppiamento induttivo con polarizzazione RF che opera in una miscela di argon e cloro.

Add-in Plasma Chemistry

Il componente aggiuntivo Plasma Chemistry crea automaticamente una chimica del plasma completa da un file di testo per i modelli che utilizzano le interfacce Plasma e Plasma, Time Periodic. Con il componente aggiuntivo è possibile specificare gli aspetti di una chimica del plasma nel file, come le proprietà delle specie, i parametri termodinamici, le reazioni di impatto degli elettroni, le sezioni d'urto e le costanti di velocità, le reazioni delle specie pesanti e le reazioni di superficie. I seguenti nuovi modelli utilizzano questa funzionalità:

• Model of an Argon and Chlorine Inductively Coupled Plasma Reactor with RF Bias
• Model of an Argon and Oxygen Inductively Coupled Plasma Reactor
• Model of an Argon and Oxygen Capacitively Coupled Plasma Reactor

Il componente aggiuntivo Plasma Chemistry (a sinistra) utilizzato per importare un file di chimica del plasma argon-cloro (a destra). Le caratteristiche del plasma vengono create automaticamente dal componente aggiuntivo.

Nuovi modelli tutorial

La versione 6.1 di COMSOL Multiphysics^® introduce quattro nuovi modelli tutorial nel Plasma Module.

Model of an Argon and Chlorine Inductively Coupled Plasma Reactor with RF Bias

Risultati del modello di un reattore al plasma ad accoppiamento induttivo con polarizzazione RF che opera in una miscela di argon e cloro. Questo tutorial utilizza l'interfaccia Inductively Coupled Plasma with RF Bias per modellare un reattore al plasma ad accoppiamento induttivo di argon e cloro con un'eccitazione periodica RF capacitiva. Il campo magnetico viene risolto nel dominio della frequenza e il plasma si risolve con una soluzione periodica. Il flusso del fluido e il riscaldamento del gas sono risolti in modo autoconsistente con il modello del plasma.

Titolo in Application Library:
icp_ccp_argon_chlorine
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Model of an Argon and Oxygen Inductively Coupled Plasma Reactor

Questo tutorial modella un reattore al plasma ad accoppiamento induttivo argon-ossigeno. Il flusso del fluido e il riscaldamento del gas sono risolti in modo autoconsistente con il modello del plasma. Il nuovo add-in Plasma Chemistry viene utilizzato per importare una chimica del plasma completa da un file. Aspetti importanti e strategie per la modellazione di scariche elettronegative sono discussi nei relativi file di modello.

Titolo in Application Library:
icp_argon_oxygen
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Model of an Argon and Oxygen Capacitively Coupled Plasma Reactor

Densità mediata nel tempo delle specie cariche in un reattore al plasma ad accoppiamento capacitivo (CCP) per frazioni molari di argon e ossigeno di 0,1 e 0,9, rispettivamente. Questo modello presenta uno studio di un plasma argon-ossigeno sostenuto tra due elettrodi metallici da un'eccitazione elettrica a 13,56 MHz. La frazione molare dell'ossigeno è parametrizzata ed è possibile osservare una transizione di ioni positivi dominanti. Il nucleo della scarica è elettronegativo e gli ioni negativi (blu scuro) sono il vettore di carica negativa dominante. La densità di ioni negativi diminuisce rapidamente verso i bordi, dove gli elettroni (blu chiaro) sono il portatore di carica negativa dominante.

Titolo in Application Library:
ccp_argon_oxygen
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Dry Air Boltzmann Analysis

Funzione di distribuzione dell'energia degli elettroni (logaritmo in base 10) in funzione dell'energia degli elettroni parametrizzata per diverse energie medie degli elettroni. In questo modello, l'equazione di Boltzmann nell'approssimazione a due termini viene risolta per una miscela di azoto e ossigeno a 80:20 (per rappresentare l'aria secca) per ottenere la funzione di distribuzione dell'energia degli elettroni (EEDF) e i parametri di trasporto macroscopici e i termini delle sorgenti che possono essere utilizzati in un modello di tipo fluido. Questo tutorial spiega anche come preparare la EEDF per l'esportazione in modo da poterla utilizzare nell'interfaccia Plasma.

Titolo in Application Library:
boltzmann_dry_air
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